三维扫描仪精度是扫描后得到的三维模型真实反映扫描工件实际尺寸的情况。三维扫描仪的精度，除了跟硬件的配置有关，更重要的与三维扫描软件的拼接算法有关。三维扫描仪的精度是判断三维扫描仪性能好坏的重要参数，如何验证三维扫描仪的精度因此显得很关键。在选择三维扫描仪的过程中，用户往往以为设备能够扫描出整体模型，细节看上去还不错，精度就会没问题，实际上，能够扫描出整体模型或者模型的细节看上去不错，并不能真实的反映出三维扫描仪的精度。
验证三维扫描仪的精度时，我们可以拿一个物体，先用三维扫描仪扫描这个物体得到三维模型，在测量软件中测量三维模型一些部位的尺寸，然后拿微米级精度的三坐标测量同一个物体的对应尺寸，然后将测量软件中的尺寸值与三坐标中的尺寸值做对比，通过两个尺寸值之间的差距，判断三维扫描仪的精度高低；或者拿一个标准量块，用三维扫描仪扫描标准量块，获得量块的三维模型，然后在测量软件中测量量块三维模型标准值相对应的尺寸，判断测量尺寸与标准量块实际尺寸的差值，通过这个差值判断三维扫描仪的精度高低。下图（一）是通过扫描标准量块在测量三维扫描的精度。
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图（一）
有些三维扫描仪，在扫描一些简单的模型时，看上去没有瑕疵，但在扫描一些复杂物体时，扫描的三维模型数据质量就很差。比如有些三维扫描仪扫描一些大尺寸物体时由于拼接能力不强，会出现起初的扫描数据和随后的扫描数据拼接不上，导致数据没法用；还有一些三维扫描仪，在扫描薄壁物体时，由于不能进行双边过渡进行拼接，会出现扫描数据拼接时在有薄壁的两面错层了。下图（二）是扫描0.5mm厚的薄壁工件得到的错层的三维模型，下面（三）该薄壁工件错层的三维模型的截面图。
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图（二）
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图（三）
下图（四）是扫描0.5mm厚的薄壁工件得到的正常的三维模型，下面（五）该薄壁工件正常的三维模型的截面图。
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图（五）
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图（六）